石英坩埚专用自动喷砂机

一 工件描述

工件型号：石英坩埚

喷砂区域：多晶硅锭外表面

工件尺寸：直径650mm，高度550mm

产品材质：高纯度石英

工件重量： <30Kg

工件喷砂前状态： 干燥

清理方法: 喷砂

清理目的：清理石英坩埚出炉后表面的余砂。

工艺流程：铸锭→喷砂→清洗

二石英坩埚介绍

石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英坩埚铸造出炉后，表面有一层余砂需要处理干净，很多公司使用的清理方式为人工打磨。人工打磨具有效率低、不环保、工人身体受到伤害、而且会把石英坩埚表面打磨坏。做为喷砂行业的领航者，吉川公司针对石英坩埚专门设计研发出一款高效自动喷砂机，石英坩埚自动喷砂机投入用户使用后，具有效率高、环保，无污染等效果，得到了石英坩埚用户的好评。

三  设备描述

1喷砂室体

2砂料的回收

3 砂料的分选

4喷咀装置

5输送系统

6除尘器

7控制系统

8安全装置

四 喷砂室

喷砂室体能有效防止砂料及粉尘外泄，喷砂室体由冷轧钢板焊接而成，外表面喷塑，内表面贴耐磨胶皮防护，可以有效的保护室内的使用寿命。

五 砂料的回收

喷砂后的砂料及粉尘通过风力循环送至储砂斗。主回砂管由特制的高耐磨无缝钢管制作而成，管内衬托高耐磨的硅胶板，可以保护管道的磨损。回收方式采用上进风，下抽的形式，有效的把砂料回收到储砂斗内，回收效率可达到到99%。

六 砂料分选

通过回收上来的砂料进入砂料循环系统，该砂料循环系统配备了风选装置，通过风选装置，破损的砂料及粉尘被分离出来，风选的风量大小可以调整。通过风选后的砂料进入到喷砂仓中，粉尘被分离出去，进入到除尘器中。该分选方式是采用重心、高速旋转的方式。

七 喷咀装置

该喷砂设备配备了10 套喷咀，分为2组装置，一组6支，一组4支

-一套夹持6 个喷咀的夹持装置，负责喷石英坩埚的左右圆周面

-一套夹持4个喷咀的夹持装置，  负责喷石英坩埚的顶圆面

喷嘴可以比较容易的安装在相应的夹具上，

有螺丝固定。维护门能让操作者便利地进出室体更换工装夹具。

工件进入工作位置后，所有的喷咀移都由摆动电机摆动，方便工件喷砂的均匀性。

八 输送系统

采用转盘自动输送系统，输送驱动电机采用变频调整，以满足客户的工艺需求。转盘自动输送进出、自动旋转。

九 除尘系统

该设备配备了一台干式除尘器，用于清理喷砂过程形成的粉尘，除

尘器安装于喷砂室体旁边。

该除尘器为虑筒式除尘器，压缩空气通过脉冲阀控制通过虑筒。

经除尘器后洁净的气体通过换气扇及消音器直接排出。

粉尘经过闸阀落入到底部仓而排到废料箱。

十 控制系统

控制系统包括一套西门子的PLC 和一个手持式可以移动的带触摸屏输入单元。可移动的输入单元用于喷砂程序储存、喷砂参数输入更改及错误信息报告。所有相关的参数象砂料量、喷砂压力、气体消耗量、垂直轴的开始停止位置、喷砂数量、喷砂时间、喷咀位置状态等都将被储存并进而控制喷砂过程。如果这些参数中某个出现异常，喷砂过程将自动停止且相关的错误信息会被清晰的显示出来。

可移动的输入单元通过一个很长的通信电缆连接到设备控制盒。该移动单元配备了彩色触摸屏，所以不需要键盘输送，同时为防止灰尘，为操作者准备了一个特殊的罩子保护该移动输入单元。

十一：使用该设备公司

杭州先进石英材料有限公司

横店东磁集团（杞县）有限公司

浙江昱辉新能源有限公司

江阴宝润石英有限公司

宁夏晶阳石英有限公司

湖北菲利华玻璃股份有限公司